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金属框架的翘曲测量
发布时间：
2022-12-12 16:33
用激光位移传感器CD5-W500测量真空室中半导体金属框架的翘曲。
D5-W500的测量范围为500±200 mm，可以长距离测量翘曲。另外，使用控制单元的UQ1-01，可以与三菱电机制造的MELSEC-Q系列直接连接，可以在短时间内进行多台传感器的运算设定。
型号：CD5-W500
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