行业应用

检测环箍中晶片的有无、弹出和倾斜情况

发布时间:

2023-11-29 16:13

用两台BGS-HDL系列检测晶圆的有无、弹出和倾斜情况。
BGS-HDL系列配备了2个开关量输出,输出1时可检测有无晶圆,输出2时可检测弹出。晶圆的倾斜度可以通过左右传感器的输出1的ON/OFF定时来判断。

 

光电传感器

型号:BGS-HL/BGS-HDL系列