行业应用

退火深度的控制

发布时间:

2022-09-30 11:23

用激光位移传感器CD5测量Si硅衬底并控制退火深度。

如果是镜面反射式的CD5-L25,则可以以0.02µm的重复精度进行测量,可以精确控制退火深度。

 

型号:CD5-L25